Verbesserte Halbleiterfertigung mit Oberflächenanalytik
Präzisionslösungen für Waferreinheit, Haftung von Epoxidharzen und effektives Drahtbonden
Gelangen Sie mit Oberflächenanalytik zum Erfolg
Mit unserer umfassenden Erfahrung in der Grenzflächenanalytik arbeiten wir von KRÜSS mit Chipherstellern und Forschungseinrichtungen zusammen, um Innovation und Effizienz über den gesamten Entwicklungs- und Produktionszyklus hinweg voranzutreiben.
Unser umfangreiches Portfolio an Messinstrumenten und Software ermöglicht flexible Konfigurationen für komplexe Messaufgaben. Darüber hinaus sorgen standardisierte Teststrategien für optimale Benetzbarkeit, Haftung und Sauberkeit in Halbleiterprozessen. Entdecken Sie, wie unsere hochwertigen Lösungen jeden Schritt von der Wafervorbereitung und Reinheitsbewertung bis hin zu Chip Packaging, Drahtbonden und Haftungsoptimierung unterstützen.
Planarisierung
Die chemisch-mechanische Planarisierung (CMP) nutzt Tenside, um eine optimal gemischte Aufschlämmung mit effektiven Benetzungseigenschaften zu erzeugen. Tensiometer von KRÜSS messen die Oberflächenspannung, um die Konsistenz der Aufschlämmung sicherzustellen, während Instrumente zur Schaumanalyse unerwünschte Schaumbildung bewerten und kontrollieren, was für die Prozessstabilität entscheidend ist.
Waferreinheit
Kontaminationsfreie Waferoberflächen sind für nachfolgende Verarbeitungsschritte von grundlegender Bedeutung. Kontaktwinkelmessungen reagieren sehr empfindlich auf Verunreinigungen oder Reinigerrückstände und eignen sich daher ideal zur Optimierung und Qualitätskontrolle verschiedener Frontend-Reinigungsschritte. Unsere Kontaktwinkelinstrumente liefern präzise Ergebnisse, ohne die Integrität der Wafer zu beeinträchtigen.
Kontaktieren Sie unsAutomatisierte Chargenprüfung
Für serienmäßige Qualitätskontrollen der Sauberkeit oder Benetzbarkeit werden mobile Kontaktwinkellösungen mit Robotersystemen kombinieren. Die Software kommuniziert über APIs oder das OPC UA-Protokoll mit den umgebenden Systemen, um den Kontaktwinkel-Messschritt in das Ensemble der Prüfschritte einzureihen.
Erleben Sie in unserer Kundenstory mit dem Fraunhofer CSP-Institut, wie automatisierte Batch-Tests mit unseren mobilen Messinstrumente funktionieren.
Zur KundenstoryThe Stood-up Drop in a nutshell
Ultrafast
Measure and read the result in seconds
User-independent
Parameters and measurement procedure are predefined
Non-destructive and hazard-free
Only drops of pure water get onto the sample
Proven
Drahtbonden
Für robuste elektrische Verbindungen beim Drahtbonden müssen Bondpads frei von Verunreinigungen und Oxidation sein. Mikro-Kontaktwinkelmessungen liefern wichtige Erkenntnisse über die Oberflächenbeschaffenheit. Die Spezialoptik ermöglicht genaue Bewertungen dosierter Picoliter-Tropfen und gewährleistet so eine optimale Oberflächenvorbereitung für zuverlässige Drahtverbindungen.
Mehr InformationenGlob-Top-Verkapselung
Der Schutz empfindlicher Komponenten durch Glob-Top-Verkapselung erfordert Ummantelungen mit starker Haftung. Die Grenzflächenspannung gegenüber dem Chip und der Leiterplatte muss möglichst gering sein, um Langzeitstabilität zu gewährleisten. Unsere Tropfenformanalysatoren erleichtern die Bewertung dieser Parameter und tragen so zur langfristigen Stabilität und Zuverlässigkeit von verkapselten Halbleiterbauelementen bei.
Kontaktieren Sie unsUnterfüllungs-Prozess
Eine effektive Unterfüllung mit Epoxidharz schützt Chips vor mechanischer Beanspruchung und Umwelteinflüssen. Eine optimale Benetzung gewährleistet eine vollständige Ausbreitung und verhindert Lufteinschlüsse. Unsere Drop Shape Analyzer unterstützen Packaging-Ingenieure bei der Bewertung der Benetzbarkeit und erlauben es, die Ausbreitgeschwindigkeit zu berechnen, um den Unterfüllungsprozess effizienter zu gestalten.
Kontaktieren Sie unsUnsere Messlösungen bringen Ihre Halbleiterproduktion voran
Entdecken Sie unser umfassendes Angebot an Präzisionsinstrumenten, die jede Phase Ihres Halbleiterfertigungsprozesses optimieren. Unser Portfolio umfasst hochwertige Kontaktwinkelgeräte, Tensiometer und Instrumente zur Schaumanalyse, die für ihre Präzision, Genauigkeit und benutzerfreundliche Bedienung bekannt sind. Sie werden in unserer weltweiten Zentrale in Deutschland entwickelt und hergestellt und decken eine Vielzahl von Anwendungen ab.

DSA100W
Automatische Analyse der Benetzbarkeit und Adhäsion von Wafern und anderen runden Proben

Tensíío
Das Tensiometer der neuen Generation für flüssige und feste Oberflächen

DFA100
Das universelle Instrument für alle Aspekte flüssiger Schäume

Ayríís
Qualitätskontrolle für Oberflächen war nie so einfach und zuverlässig

MSA One-Click SFE
Analyse der Benetzbarkeit in einer Sekunde mit einem Klick

DSA30M
Präzise Analysen der Benetzbarkeit mikroskopisch kleiner Oberflächen

DSA100E
Die automatische Premium-Lösung für Analysen der Benetzung und Adhäsion von Festkörpern und Flüssigkeiten
Tauchen Sie tiefer ein mit unseren Experten
Wollen Sie mehr über unsere Lösungen zur Optimierung der Frontend- und Backend-Schritte in der Chip-Produktion erfahren? Zögern Sie nicht, sich mit unseren Experten für Oberflächenanalytik in Verbindung zu setzen, um Ihre Aufgabe oder Ihren Lösungsbedarf Problem zu besprechen.